使用原子层沉积进行表面改性
作者:Forge Nano
行业:材料科学
产品: Forge Nano, Pandora, Prometheus
关键词:Forge Nano, 粉末原子层沉积
日期:2023-05-25

ALD 使用两种或更多的前体化学品,它们以明确的顺序逐一与表面发生反应,从而在基底上建立起一个所需的表面。在惰性载气(如氩气)的推动下,每种前体的交替脉冲被沉积到基底上。这可以防止化学品在到达基材之前发生任何不良的化学变化。当化学品到达目标表面时,发生了所谓的 "半反应",所谓半反应是因为它只占材料合成的一部分。脉冲被定时为只持续一半反应所需的时间。这个反应过程是自我限制的,也就是说,当所有可用的表面都被覆盖时,它就结束了,这也是能够逐层构建材料的关键。

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