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TERA-Fab®T series 蘸笔光刻打印沉积
采用多达 16 万笔尖阵列,通过蘸笔式接触沉积实现无掩模、亚 200 nm 分辨率、平方厘米级大面积图案化加工。
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TERA-Fab®T series
蘸笔光刻打印沉积

聚合物笔无掩模光刻纳米制造系统(polymer pen lithography)聚合物笔纳米无掩模光刻制造系统PPL, 使用可达160000笔尖的阵列,采用蘸笔光刻DPN的方式,将待沉积的材料(墨水)浸蘸在笔尖阵列上,笔尖可控的与基底表面接触,从而在基底表面批量成型所需图案,加工纳米微米图案无需光掩膜,且在平方厘米范围内达到200纳米以下的分辨率,可应用于纳米粒子合成,蛋白阵列,单细胞排布,纳米电路构造、生物芯片、化学检测、微尺度催化反应、分子马达等领域。此设备在国际上属于基于聚合物笔光刻(PPL)技术的纳米制造系统,PPL技术是美国Tera-print公司独有的技术。

Application Area
应用领域
  • 阵列控制
  • 化学组分控制
  • 特征尺寸和浓度控制
  • 高特征尺寸分辨率
01
阵列控制

可以通过光驱动和运动的结合来精确打印阵列。

02
化学组分控制

可以通过智能墨水加载,实现在芯片上精确地浓度或成分梯度变化。

03
特征尺寸和浓度控制

可以精确控制力,接触时间和墨水加载配方文件。

04
高特征尺寸分辨率

在PPL或BPL模式下均可实现200 nm以下的特性。

TERA-Fab®T series 蘸笔光刻打印沉积
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