TERA-Fab®T series 蘸笔光刻打印沉积
采用多达 16 万笔尖阵列,通过蘸笔式接触沉积实现无掩模、亚 200 nm 分辨率、平方厘米级大面积图案化加工。

可以通过光驱动和运动的结合来精确打印阵列。

可以通过智能墨水加载,实现在芯片上精确地浓度或成分梯度变化。

可以精确控制力,接触时间和墨水加载配方文件。

在PPL或BPL模式下均可实现200 nm以下的特性。
TERA-Fab®T series 蘸笔光刻打印沉积如果您想要了解更多产品信息,请填写以下信息下载产品手册, 我们收到您的信息后将第一时间回复您。
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